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新宇宙New cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，也可对氢气相关设备提供安全保障。

小型轻量，可以检查非常微量的气体泄漏

适合氢气相关设备的安全防护

搭载的泵有自动停止功能

搭载[自动气体排气模式]功能

保护等级约为IP22（JIS C  0920）。

产品用途：半导体工厂/石油化学工厂等；在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测。

型号：XP-703DⅢ

检测对象气体：半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)

检测原理：热线型半导体式

采样方式：自动吸引式

砷烷AsH₃

可检测泄漏量[Pa·m³/s]：2.53x10⁻⁷

可检测浓度[μmol/mol]：0.5

磷化氢PH₃

可检测泄漏量[Pa·m³/s]：1.52x10⁻⁷

可检测浓度[μmol/mol]：0.3

乙硼烷B₂H₆

可检测泄漏量[Pa·m³/s]：1.01x10⁻⁷

可检测浓度[μmol/mol]：0.2

硅烷SiH₄

可检测泄漏量[Pa·m³/s]：2.53x10⁻⁷

可检测浓度[μmol/mol]：0.5

氢气H₂

可检测泄漏量[Pa·m³/s]：5.07x10⁻⁷

可检测浓度[μmol/mol]：0.1

反应时间：10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时，灵敏度设定为[4])

报警方式：发出断断续续的声音及报警灯闪烁

电源：5号碱性干电池(LR6)2节

连续使用时间：约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]

保护等级：IP22 相当

使用压力范围：大气压(800~1100hpa)

使用温湿度范围：0C~40℃、85%RH以下(无结露现象)

外形尺寸：W38xH130xD32mm(突出部分除外)

重量：约190g(包含电池、皮套)

标配附件：皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等