霍尼韦尔气体探测器在半导体制造行业的选择,在刚刚结束的两会期间,“新质生产力”成为热议话题。映射到半导体领域,半导体产业作为现代科技的重要支柱,是发展新质生产力的重要驱动因素。在政策驱动以及市场需求升级的大背景下,半导体产业迎来崭新的发展机遇,同时也面临诸多挑战。

在半导体制造行业中,半导体的生产工序十分繁复,包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗等工艺流程,涉及到的特种气体约50余种,不乏有毒有害气体如PH3、HF、AsH3等,一旦泄漏将对人员和财产造成不可估量的损失,有毒气体探测成为半导体行业安全生产的挑战之一。

半导体制造工厂通常设置有生产区、仓储区、动力辅助区、气体站等,在超高纯特气管道系统的输送以及存储过程中、半导体的生产加工以及尾气排放等流程中,均应密切监测有毒气体浓度,确保人员财产安全。

为了满足不同场景的检测需求,霍尼韦尔拥有丰富的产品线,通过先进技术和设备精准布局,可以在各个阶段提供出色的气体安全保护,来看看霍尼韦尔有哪些气体探测器吧!

Midas气体探测器:

1.jpg

Midas系列是适用于半导体工业及其它一般工业所使用的有毒气体以及可燃气体的高灵敏、高可靠度的气体探测器。

Midas系列基于电化学原理,ppm百万分之一级别气体侦测,广泛覆盖40多种气体,最长可达30米采样距离。它包含单点、四合一和防爆型多种型号气体探测器,拥有较长的免校准周期、灵活的通讯模式、操作轻松、维护便捷,大大降低了气体探测所需要的成本。

Vertex C有毒气体检测系统:

2.jpg

集结了众多工业设计巧思的Vertex C有毒气体检测系统,同样在半导体、太阳能光伏等高科技产业中广受好评。它最多可以支持96点的气体侦测,侦测点采样流量达到2.2LPM。

搭载霍尼韦尔首创的Chemcassette技术,Vertex C有毒气体检测系统的精确度高达十亿分之一(ppb),气体泄漏响应迅速,危险无处遁形!

Vertex VC4有毒气体检测仪:

3.jpg

同样搭载Chemcassette纸带气体侦测技术的还有Vertex VC4有毒气体检测仪,它设置有4个检测点的气体检测系统,可连续同时侦测四个点位,采样距离可达120米,每个测点的采样流量达到2.8LPM,可满足最新的台湾地区EPA要求。

除此外,它还采用高效的模块化设计,小巧的机体使用户操作和维护更加便捷。